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设置从含有硅粒的排出液中回收硅粒的回收设备、储存溶解混合液的混合液罐、导入该混合液罐中的溶解混合液进行过滤的滤布式过滤机。上述排出液是在用硅锭加工装置加工单晶硅锭形成硅块时所排出的，上述溶解混合液是向由上述回收设备回收的淤浆状硅粒中混合酸、使杂质溶解而成的。
首先，将混合液罐中的溶解混合液供给滤布式过滤机，开始过滤，此时的滤液返回至上述混合液罐中循环。
如果在上述滤布式过滤机的滤布上形成了所需厚度的滤饼，则滤液不返回上述混合液罐而流经排出通路进行过滤。
上述溶解混合液的过滤结束后，向滤布式过滤机的滤布过滤面一侧供给加压空气，由此将在滤布上形成的滤饼脱水，接着向混合液罐供给纯水，通过将该混合液罐的纯水供给上述滤布式过滤机，清洗上述滤布上的滤饼。
接着向滤布式过滤机的滤布过滤面一侧供给加压空气，由此将滤布上的滤饼脱水。
接着，向滤布式过滤机的滤布过滤面相反一侧供给加压空气，使滤布上的滤饼脱落，由此获得单晶硅粒
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